NF3是電子工業(yè)使用的一種新型蝕刻氣體，使用量和廢氣排放量逐年上升,。其溫室效應(yīng)潛值高達(dá)17200,，存留時(shí)間約740年,。為了引起世界各國(guó)對(duì)NF3危害性的認(rèn)識(shí),，2008年聯(lián)合國(guó)環(huán)境大會(huì)將NF3增列為限制排放的溫室氣體,。因此，有效消除工業(yè)過(guò)程排放的NF3廢氣是一件有意義的工作,。無(wú)水條件下NF3與一些金屬氧化物反應(yīng)而分解,，生成的金屬氟化物是有用的化學(xué)品，且不產(chǎn)生腐蝕性氣體HF,，操作簡(jiǎn)單,，是分解NF3廢氣的經(jīng)濟(jì)實(shí)用方法。
在前期工作（Journal of Environmental Chemical Engineering, 2019, 7, 103192;2020, 8, 103890;2020, 8, 104166）基礎(chǔ)上,，近日徐秀峰教授團(tuán)隊(duì)合成了薄片形貌Al2O3@Mn2O3復(fù)合固氟劑,，用于分解NF3，顯著加快了NF3氣體的擴(kuò)散與反應(yīng),，提高了固氟劑活性和利用率,。研究結(jié)果以“Destructive sorptionofNF3as a novel greenhouse gasoverAl2O3@Mn2O3sorbentswith high surface area”為題，發(fā)表在Process Safety and Environmental Protection,。有關(guān)工作為制備高活性高利用率NF3分解固氟劑提供了有益的啟示,。
該工作第一作者為化學(xué)化工學(xué)院2020級(jí)碩士研究生王麗梅，通訊作者為徐秀峰教授,。上述工作得到了山東省自然科學(xué)基金（重點(diǎn)項(xiàng)目）,、煙臺(tái)市科技創(chuàng)新發(fā)展計(jì)劃（科技領(lǐng)軍人才項(xiàng)目）的資助。（文,、圖/王麗梅,、徐秀峰）
文章鏈接：https://doi.org/10.1016/j.psep.2022.04.069
